半導体技術により高性能・高信頼化したひずみ計測技術の進化

抄録

1．はじめに

ひずみは，物体に力が作用した時の，元の長さに対する変形量の割合として定義され，物体の即時破断や疲労現象などを支配する重要な物理量である。よって，材料力学の発展に伴い，強度設計におけるクライテリアとして重要視されてきたが，変形量が非常に微小であるために，当時は

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