2022 年 142 巻 11 号 p. 704-707
1.はじめに
本稿のテーマは,放電プラズマの電子密度測定である。放電プラズマにおける電子密度測定の必要性を,図1を用いて説明する。放電プラズマの内部では,電界で加速された電子が雰囲気気体と衝突することで,電離・解離・励起・付着などの反応が起こる(1)。その結果,放電プラズマ
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